Abstract

某ALD研究用高量程臭氧檢測(cè)儀ALD要求臭氧濃度高，臭氧發(fā)生器濃度要求高于200mg/L，一般臭氧檢測(cè)儀量程檢測(cè)儀在0-400mg/L、0-300mg/L.